四甲基硅烷（TMS），又稱四甲硅烷，化學式為C4H12Si，是一種有機化合物。四甲基硅烷外觀呈無色透明液體，可溶于乙醚等多數有機溶劑，不溶于濃硫酸和水。四甲基硅烷分子結構呈對稱性正四面體，具備化學穩定性、熱穩定性、低電負性以及低污染特性，在航空航天、半導體、顯示面板、科學研究以及化工合成等眾多領域需求旺盛。
四甲基硅烷制備方法包括有機硅低沸分離法、有機硅轉化法兩種。有機硅低沸分離法指以甲基氯硅烷為主要原材料，經過分離、提純等流程制得成品，該法具備運行成本低、成品收率高等優勢；有機硅轉化法以甲基氯硅烷和氯甲烷為主要原材料，加入氯接收劑和催化劑，經充分反應制得成品，該法可用于制備高純度四甲基硅烷，但極易造成環境污染，不適合進行連續化生產。
根據新思界產業研究中心發布的《
2025-2029年四甲基硅烷（TMS）行業深度市場調研及投資策略建議報告》顯示，四甲基硅烷在眾多領域需求旺盛，主要包括航空航天、半導體、顯示面板、科學研究以及化工合成等。在航空航天領域，四甲基硅烷可用于制造航空燃料；在顯示面板領域，其可用于液晶顯示面板制備過程中；在科學研究領域，其作為核磁共振基準物質，可用于核磁共振分析過程中；在化工合成領域，其可用于硅橡膠、甲基硅油合成過程中。
在半導體制造領域，四甲基硅烷作為電子特氣，可用于碳化硅薄膜、含硅膜等半導體材料沉積工藝中，該領域為其最大需求端。受益于國家政策支持以及技術進步，我國半導體行業發展速度不斷加快。在此背景下，我國四甲基硅烷市場空間將進一步擴展。
全球四甲基硅烷主要生產企業包括美國Gelest公司、美國杜邦公司（Dupont）、德國默克公司（Merck）、法國液化空氣集團（Air Liquide）等。在本土方面，我國四甲基硅烷主要生產企業包括正帆科技、和遠潛江電子、中硅高科等。和遠潛江電子正在積極推進年產1.2萬噸電子材料項目建設，項目主要產品包括高純四甲基硅烷、電子級三氯化硼等。
新思界
行業分析人士表示，四甲基硅烷用途廣泛，行業人發展速度不斷加快。未來隨著我國半導體行業景氣度提升，四甲基硅烷市場空間將得到進一步擴展。與海外發達國家相比，我國四甲基硅烷行業起步較晚，但發展勢頭迅猛，已有多家企業具備其規模化生產實力。
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